Innovation im Bereich optischer 3D-Oberflächenanalyse

Hochauflösende 3D-Messdaten und maximaler Bedienkomfort – das verspricht Mahr mit einer neuen Weißlichtinterferometrie-Produktlinie. Anfang 2021 kommen die neuen Systeme auf den Markt; darunter auch zwei automatisierbare Lösungen. Mit einer Auflösung von bis zu 0,1 nm sind die neuen Messsysteme besten geeignet für den Einsatz in der Fertigung von Halbleiterbauteilen oder optischen Komponenten. Dank einer neuartigen Auswertetechnologie auf Basis künstlicher Intelligenz (KI) erzielen sie höchste Genauigkeiten bei gesteigerter Robustheit.

Einfache 2D- und 3D-Analysen von Oberflächen

Kunden profitieren von der kompakten Bauform und der leichten, intuitiven Bedienbarkeit der neuen Weißlichtinterferometer. Darüber hinaus nutzen die neuen Systeme die bewährte Auswertesoftware Mountains for Mahr (MfM), mit der die Auswertung von 2D- und 3D-Parametern in wenigen Schritten erfolgt. Aber auch komplexe Analysen flächenhafter Merkmale – beispielsweise Isotropie, Volumen oder Schichtdicke – sind mit der Software MfM einfach möglich. 3D-Rekonstruktionen und überlagerte Reflexionsbilder stellen die Oberflächeneigenschaften anschaulich dar.

Unser Vertrieb steht Ihnen gerne für Auskünfte zur Verfügung. Sie erreichen unser Experten-Team per E-Mail an Sales-3DSurface@mahr.com.